盡管新的樣品引入技術(shù)的研究層出不窮，但溶液霧化法仍然是大多數(shù)二手ICP-MS電感耦合等離子質(zhì)譜應(yīng)用優(yōu)先考慮的方法。因此，對于大多數(shù)樣品類型而言，樣品分解是常規(guī)分析必要的先決條件。的確，樣品分解法仍是分析化學(xué)實驗室中為普通的操作方法之一。樣品分解通常都用強無機酸，不同酸的適當混合已經(jīng)成功地用于大多數(shù)各種樣品的分解。溶解樣品時，如果采有密封容器系統(tǒng)來增大溫度和壓力，可以提高分解效率。另一種分解樣品的辦法，是將樣品與堿金屬熔劑(如Na：cO，、LiBO：、Na：0z、K2S207)熔融后，再用稀酸浸提，該法對難熔礦物和巖石分解尤為有效。  

二手ICP-MS電感耦合等離子質(zhì)譜法：無機酸的選用
在二手ICP-MS中，常用于分解樣品的無機酸以及其他試劑的種類很有限。
硝酸通常被認為是好的酸介質(zhì)，因為IcP所夾帶的空氣中已有HNO，的組成元素，加入HN0，基體后，由H：、N：和0。形成的一些多原子離子并不顯著增加。另外，HNO，是可獲得極純形式的少數(shù)商品酸之一，是超痕量元素分析的理想試劑。
濃鹽酸可分解許多金屬氧化物，但在二手ICP-MS電感耦合等離子質(zhì)譜中盡量避免使用，因氯可以形成多原子離子，除非可以采取措施使HC1從中有效地除去。
高氯酸是已知的無機酸之一。它和有機化合物會發(fā)生爆炸反應(yīng)，因此有機樣品．如生物組織好先用其它方法將化合物*分解后，再用HCl04處理。使用HCl0時必須采取嚴格的安全措施，操作應(yīng)在的通風柜內(nèi)進行。
氫氯酸是惟一能溶解以Si為基質(zhì)的物料，在酸溶液中形成SiF2-6離子的酸。HF很少單獨使用，為了保證溶解*，常將氧化性酸HNO3和HF混合使用。要注意的是，HF具有強腐蝕性和毒性，對玻璃也會產(chǎn)生腐蝕作用。
此外，王水和過氧化氫等試劑也有使用，但在中藥分析中較少使用。