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· 殘余氣體或泄漏檢測
· 實質(zhì)上的泄漏或脫附分析
· 除氣研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/過程氣體污染物
特點：

· 靈敏度PPM,質(zhì)量數(shù)至300amu
· 穩(wěn)定性（24小時以上，峰高變化小于±0.5%）
· MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進行多個系統(tǒng)控制
· 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
· 混合模式掃描－多個windows窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰
· 同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表
· 同步背景扣除，自動質(zhì)量數(shù)列表
· 數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設備
· 即時動態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如
Excel、SPC-IV統(tǒng)計過程控制軟件等