組分原料的研究、合成與驗(yàn)證

成品產(chǎn)量的驗(yàn)證

目前國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠面臨的技術(shù)瓶頸之一是批次穩(wěn)定性的問題。不同批次間產(chǎn)品的物理化學(xué)性能差異會(huì)導(dǎo)致成品質(zhì)量不穩(wěn)定，因此在光刻膠成品階段分析測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性極為重要。

半導(dǎo)體光刻膠解決方案總結(jié)

國(guó)內(nèi)廠商正在積極布局光刻膠及其上游材料供應(yīng)鏈，力求打破“卡脖子”的技術(shù)瓶頸。一些公司在中低端制程如 g 線、i 線光刻膠方面已經(jīng)取得了一定的國(guó)產(chǎn)化成果。安捷倫半導(dǎo)體光刻膠分析解決方案是基于半導(dǎo)體光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈，從原料到光刻膠成品的質(zhì)量管控體系。該解決方案全面覆蓋了半導(dǎo)體光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈。通過先進(jìn)的分析技術(shù)和精密的儀器設(shè)備，實(shí)現(xiàn)對(duì)原料和光刻膠成品的關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行全面而精確的評(píng)估與監(jiān)控；可以幫助光刻膠生產(chǎn)廠商提升生產(chǎn)效率，降低不良率。安捷倫通過深厚的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和不斷創(chuàng)新的技術(shù)能力，為半導(dǎo)體用光刻膠的質(zhì)量控制樹立了新的標(biāo)桿。