從手機(jī)、電腦，到汽車、電器，再到醫(yī)療儀器、航空裝備，我們生活中的很多事物都離不開(kāi)先進(jìn)的半導(dǎo)體技術(shù)，而產(chǎn)量和規(guī)模的不斷增長(zhǎng)，也讓芯片制造工藝越來(lái)越精密。準(zhǔn)確的泄漏檢測(cè)技術(shù)，是確保半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量和提升生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。

應(yīng)用廣泛，全流程覆蓋

英?？稻_的泄漏檢測(cè)方案可確保對(duì)半導(dǎo)體工藝至關(guān)重要的真空條件的完整性。即使是極微小的泄漏，也可加以識(shí)別和修復(fù)，以確保半導(dǎo)體特性。

使用示蹤氣體進(jìn)行泄漏檢測(cè)，可有效防止顆粒和污染物的進(jìn)入，維護(hù)半導(dǎo)體潔凈室嚴(yán)格的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

英?？档男孤z測(cè)技術(shù)，包括示蹤氣體的使用，可有效識(shí)別定位不同配置的復(fù)雜半導(dǎo)體設(shè)備中的各種泄漏。

精確、高靈敏度的泄漏檢測(cè)方案可確保識(shí)別極微小的泄漏，以保持半導(dǎo)體制造工藝所需的純度，防止缺陷和確保產(chǎn)品質(zhì)量。

英?？档男孤z測(cè)方案與半導(dǎo)體材料兼容，可確保不會(huì)損壞或改變半導(dǎo)體制造中所用材料的性能。

英?？堤峁┑目煽啃孤z測(cè)系統(tǒng)能夠以極快的速度獲得可靠的結(jié)果，從而提高半導(dǎo)體制造的產(chǎn)能。快速識(shí)別和解決泄漏問(wèn)題也是最大限度減少停機(jī)時(shí)間，確保生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。

英福康的泄漏檢測(cè)方案可與自動(dòng)化系統(tǒng)無(wú)縫集成，實(shí)現(xiàn)持續(xù)監(jiān)控和即時(shí)泄漏響應(yīng)，并有助于提高半導(dǎo)體自動(dòng)化制造過(guò)程的整體設(shè)備效率 (OEE)。

英?？抵铝τ陂_(kāi)發(fā)經(jīng)濟(jì)高效的泄漏檢測(cè)解決方案，在準(zhǔn)確性和成本之間取得平衡。

產(chǎn)品多樣，性能良好

UL6000 Fab

UL3000 Fab

UL1000 Fab