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便攜式 光學(xué) 膜厚測量 FR-pOrtable 測厚儀

FR-pOrtable是白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng)，通過內(nèi)嵌式微處理器控制，使用壽命超過20000小時。小型光譜儀，光譜范圍370nm –1020nm，分辨精度可達3648像素，16位級A/D分辨精度；配有USB通訊接口；可對透明和半透明的單個薄膜或薄膜疊層進行精確，精確的

無損表征。FR-pOrtable的緊湊設(shè)計保證了測量的高度準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。FR-pOrtable既可以安裝在提供的平臺上，也可以輕松轉(zhuǎn)換為手持式厚度測量工具，以放置在表征區(qū)域上。這樣，F(xiàn)R-pOrtable是用于現(xiàn)場應(yīng)用的光學(xué)表征工具?？梢詼y量反射率，透射率，吸收率和顏色參數(shù)。

FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng)，可精確計算如下參數(shù)：

1）單一或堆積膜層的厚度；

2）靜態(tài)或動態(tài)模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫，可以有效地協(xié)助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結(jié)果分析使用。

參考樣片：

1）經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片；

2）經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片；

3）經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片；

4）反射探針臺和樣片夾具：

可處理的樣品尺寸達200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等；

手動調(diào)節(jié)可測量高度可達50mm；

可針對更大尺寸訂制樣片夾具；

反射率測量的光學(xué)探針：

內(nèi)嵌系統(tǒng)6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm；

附件：

FR-portable透射率測量套件；