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HALO 201 MBE-殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀
  • 英國

    產(chǎn)地
  • 北京北京市

    所在地區(qū)
  • 2025-02-03 09:00

    更新時(shí)間
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鄭喜重
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010-52722410
電話
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產(chǎn)品詳細(xì)

儀器簡介:HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監(jiān)測和殘余氣體的分析。 該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環(huán)境中長期使用。

  主要特點(diǎn):·鉬銅布線增加MBE環(huán)境下系統(tǒng)的壽命

·抗污染離子源護(hù)罩

·雙法拉第/ channelplate電子倍增器

                             技術(shù)規(guī)格:·質(zhì)量數(shù)范圍: 1300 amu

·掃描速度: 100amu/s

·小掃描步階:0.01amu

·靈敏度: 0.1 ppm1ppm

·穩(wěn)定性: 24h以上,峰高變化小于±0.5%

·小檢測分壓:2 x 10-13 mbar

·大工作壓力:1 x 10-4 mbar

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